百瑞彩票半导体制程中硅烷（SiH4）是一种特种气体，在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过CVD（化学气相沉积）工艺制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质等。

废气处理设备处理SIH4废气：

硅烷（SiH4）在使用后会产生的废气，如果未经废气处理设备治理就直接高浓度对外排放，对人体和环境的恶劣影响是无法估量的。

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性强烈，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，毒性很大，如果人体吸入硅烷就会强烈刺激呼吸器官，是一种高危险性的气体。

在半导体工厂中，因工作区域一般离中心废气处理百瑞彩票系统远，为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积等问题，硅烷（SiH4）废气从无尘室机台端（POU）反应被排放出后，即先由真空Pump抽至废气处理设备Local Scrubber做处理，待处理过后的气体再接续至厂务端做第二道处置。

废气处理设备

硅烷(SIH4)废气处理的危险性有多大？

百瑞彩票综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的废气处理设备，才能更有效的解决废气问题。

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